List of publications on a keyword: «MEMS»


Технические науки (электромеханика, приборостроение, машиностроение, металлургия и др.)

Publication date: 07.12.2015
Evaluate the material Average score: 0 (Всего: 0)
Vladimir V. Amelichev , candidate of technical sciences , Начальник ОМСТ
НПК «Технологический центр» , Москва г
Sergey S. Generalov , старший научный сотрудник
LLC "Research and Development Enterprise "Tekhnologia" , Москва г
Sergei V. Nikiforov , младший научный сотрудник
НПК «Технологический центр» , Москва г

«Создание диэлектрических мембран с низким уровнем механических напряжений»

Download an article

The